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然后从 该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅，粉 尘杂质与氩气等的混合气体排出，其中，气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙，以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20。由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。

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碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与氩气的混合气体排出，且利于减少热能和氩气的消耗量，使原有的引晶率从65KW减到61KW，另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通。单晶硅生长炉设备附件种类\二手单晶炉利用，电镀设备，光伏产品设备，补偿柜，电容柜，整流柜，水冷电缆，电源柜，单晶炉配套系统，单晶炉连接水电缆，单晶炉输配电设备干式电阻炉变压器，电弧炉变压器，感应炉变压器，电容式变压器，电子元器件， 施耐德断路器， 梅兰日兰断路器。